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多弧磁控真空鍍膜機(jī) 應(yīng)如何使用及維護(hù)
發(fā)布時間:2014-01-09 瀏覽:  次

    多弧磁控真空鍍膜機(jī)其工作原理是在真空狀態(tài)下,使用弧光放電和輝光放電的工作原理。在金屬和非金屬的工件表面上鍍制金色的氮化鈦,黑色碳化鈦,七彩的氮氧化鈦等。亦可鍍防腐蝕膜(如AL,Cr不銹鋼及TiN等)和耐磨膜,膜層與基底結(jié)合牢固,適合于手表、五金餐具、陶瓷及要求磨超硬的刀具,模具等,具有很好的發(fā)展前景。

多弧磁控鍍膜機(jī) 使用及維護(hù)
使用前各電源開關(guān)及操作按鈕應(yīng)處于斷開位置,接通水源,氣源,電源。
1)打開真空控制電源開關(guān)。
2)開維持泵對擴(kuò)散泵抽低真空,并測量前級真空度。
3)待前級壓力達(dá)到5.0*10pa后,開擴(kuò)散泵加熱。
4)開充氣閥,對鍍膜室充氣,打開鍍膜室門,裝好清洗干凈的工件,關(guān)好爐門。
5)待擴(kuò)散泵正常工作一小時后,開機(jī)械泵開預(yù)抽閥,對真空室手抽真空至1.0*103pa,然后開羅茨泵
6)當(dāng)壓力達(dá)到3.0*10pa后,關(guān)預(yù)抽閥,開前級閥。開高真閥,對鍍膜室抽高真空。
7)當(dāng)真空室壓力達(dá)到8*10-3pa后開工作旋轉(zhuǎn),并開加熱至設(shè)定值。
8)開始鍍膜操作程序。
9)鍍膜操作程序結(jié)束。
10)降爐溫至100oC以下,打開充氣閥爐門取出工件,每一爐使用之前對爐內(nèi)進(jìn)行清潔。
11)一個工作周期后,要用吸塵器把鍍膜室內(nèi)的粉塵吸干凈,避免短路或污染真空系統(tǒng)。
12)經(jīng)過一段時間要取下?lián)醢暹M(jìn)行清洗。

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