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    鍍膜設(shè)備真空檢漏是真空獲得保證，它是檢測(cè)真空系統(tǒng)的漏氣部位及其大小的過(guò)程。漏氣是影響真空獲得和真空維持的主要因素之一。

    由于鍍膜設(shè)備漏孔存在會(huì)抵消真空泵部分抽氣作用，延長(zhǎng)抽氣時(shí)間，降低鍍膜設(shè)備的極限真空。即使在動(dòng)態(tài)情況下能夠達(dá)到較高真空度，待與真空抽氣系統(tǒng)連接閥門關(guān)閉，靜態(tài)內(nèi)部壓力會(huì)迅速上升，嚴(yán)重影響器件的工作特性及壽命。
     鍍膜設(shè)備真空系統(tǒng)漏氣是絕對(duì)的，不漏氣是相對(duì)的，對(duì)于動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)，只要其平衡壓力能夠達(dá)到所要求的真空度，這時(shí)即使存在著漏孔，也可以為該系統(tǒng)的漏率是容許的，動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)的最大容許漏率Q一應(yīng)滿足公式   Q max≤ 1／1O PS式中 P---系統(tǒng)工作壓力  S---系統(tǒng)的有效抽速
     對(duì)于靜態(tài)真空系統(tǒng)，要求在一定時(shí)間內(nèi)，其壓力維持在容許的壓力以，這時(shí)即使存在著漏孔，同樣可以認(rèn)為該系統(tǒng)的漏率是容許的，靜態(tài)真空系統(tǒng)最大容許漏率Q max應(yīng)滿足公式Q max≤ (Pt---P)V／t 式中P---系統(tǒng)工作壓力  Pt—系統(tǒng)極限壓力      V--- 系統(tǒng)容積        t--時(shí)間

      鍍膜設(shè)備檢漏方法的分類檢漏的方法很多，但各有特點(diǎn)和使用范圍，究竟選用哪種方法比較合適，要根據(jù)具體情況而定，作為比較理想的檢漏方法應(yīng)該滿足下述幾方面的要求：

(1)鍍膜設(shè)備檢漏靈敏度高，滿足少于被檢漏率二個(gè)數(shù)量級(jí)以上。
(2)反應(yīng)時(shí)間短，則找出一個(gè)漏孔的時(shí)間就短。
(3)能定位，定量測(cè)得漏率大小。
(4)能無(wú)損、無(wú)污染的檢漏。
(5)檢漏范圍廣，從大漏到小漏都能檢。
(6)檢漏儀器應(yīng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作維修方便。
     然而上述要求也是有矛盾的，要求一種方法同時(shí)滿足上述要求也是不可能的。一般靈敏度高檢漏儀結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，使用和維修都比較困難。價(jià)格也相當(dāng)貴。所以只能針對(duì)不同檢漏對(duì)象來(lái)選擇合適的方法。以解決主要矛盾為原則。

     鍍膜設(shè)備很多與電、電磁、水、氣源和制冷有關(guān)。有的是機(jī)械裝配中的不細(xì)心造成的，有的是絕緣材料或結(jié)構(gòu)上的問(wèn)題。真空設(shè)備出現(xiàn)故障，我們的經(jīng)驗(yàn)是不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸設(shè)備、應(yīng)認(rèn)真分析故障現(xiàn)象，以先易后難的原則使用排除法來(lái)進(jìn)行。先用真空儀表大概判斷出設(shè)備狀態(tài)。然后對(duì)真空泵單獨(dú)測(cè)試和整個(gè)真空機(jī)組進(jìn)行檢測(cè)，在確保真空獲得無(wú)問(wèn)題情況下。進(jìn)行真空檢漏，鍍膜設(shè)備檢漏根據(jù)問(wèn)題論述原則，選檢漏儀與檢漏方式。先進(jìn)行靜態(tài)升壓試驗(yàn)，判斷漏氣和放氣。然后進(jìn)行分段與整體檢漏，找出漏點(diǎn)，并確定其漏率大小。

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